田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真  

Design and simulation of a three-axis capacitive micro-accelerometer with a single mass in the shape of Tian

作　　者：周寿权 张国俊[1] 王姝娅[1] 戴丽萍[1] 钟志亲[1] 

机构地区：[1]电子科技大学电子科学与工程学院,成都611731

出　　处：《电子产品世界》2020年第12期79-82,85,共5页Electronic Engineering & Product World

摘　　要：介绍了一种田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真。该加速度计以SOI晶圆作为基片,经过氧化、光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等工艺步骤得到。通过支撑梁和3个轴的敏感结构的巧妙设计,有效避免了平面内和垂直方向的交叉轴干扰的影响,并提高了Z轴的灵敏度。通过差分电容的设计,理论上消除了交叉轴干扰。通过仿真得到了该加速度计在3个轴向上的灵敏度及抗冲击能力。结合理论分析和ANSYS仿真结果,可以得出结论:所设计的加速度计拥有较低的交叉轴干扰、较高的灵敏度以及较强的抗冲击能力,在惯性传感器领域有一定的应用前景。

关 键 词：微加速度计 SOI 交叉轴干扰 灵敏度 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]