高精度电容测微仪的自校正方法  

A Self-calibration Method of Precision Measurement System for Capacitance Transducers

作　　者：李建文[1] 付敬业[1] 张洪刚[1] 赵玉春[1] 郑义忠[1] 叶声华[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《计量学报》2001年第3期181-184,共4页Acta Metrologica Sinica

基　　金：国家自然科学基金! (5 9735 12 0 )

摘　　要：本文详细叙述了一种电容测微仪的自校正方法 ,并就其工作原理进行了讨论。采用这种方法不需要其它高精度标准 ,仅利用两相同精度的电容传感器和自校正装置即可进行多次相互校准 ,最终得到各自准确度达到自身能力极限的校正结果。A self-calibration method is proposed for calibrating precision measuring system of capacitance sensors with nanometer resolution and the basic characteristics of the method are discussed. Without any special standard, the linearity errors of a pair of capacitance transducers can be calibrated themselves within their performance limitations.

关 键 词：电容测微仪 自校正 线性误差 工作原理 试验装置 电容传感器 

分 类 号：TM934.2[电气工程—电力电子与电力传动]