超纯水的制造及其在半导体工业中的特点  

出　　处：《水处理信息报导》2001年第5期48-48,共1页

关 键 词：超纯水 制造 半导体工业 特点 废水回收 

分 类 号：TQ085[化学工程] X771[环境科学与工程—环境工程]