微系统动力学中的若干非线性问题  

SOME NONLINEAR PROBLEMS IN MICROSYSTEM DYNAMICS

作　　者：傅卫平[1] 方宗德[1] 

机构地区：[1]西北工业大学机械系,西安710072

出　　处：《力学进展》2002年第1期17-25,共9页Advances in Mechanics

摘　　要：微系统是近十多年迅速发展的新兴交叉学科领域．微系统动力学是微系统科学中的重要组成部分．微系统一般具有固有的非线性．本文从建模、分析、设计、控制、实验、测试、材料及制造等几方面归纳了微系统动力学中的若干非线性问题，并对今后的研究方向进行了展望．Microsystems, or microelectromechanical systems (MEMS), are a new and fast devel- oping, interdisciplinary field. Microsystem dynamics is an important part of microsystem science. Microsystems, generally, are of inherent nonlinearity. In this paper, some nonlinear problems in microsystem dynamics are summed up from the angles of modelling, analysis, design, control, experiment, measurement, material, microfabrication, and so on, and the prospects of research directions in the future are given.

关 键 词：微系统 动力学 非线性 尺度效应 多能域耦合 特征尺寸 微/纳米机电系统 

分 类 号：TH－39[机械工程] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]