BPM方法在SOI结构中的应用  

Beam Propagation Method and Its Application in SOI Structures

作　　者：张小峰[1] 余金中[1] 王启明[1] 魏红振[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2002年第2期169-173,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金(批准号 69990 5 40及 698962 60 -0 6);科技部 973资助项目 (合同号 G2 0 0 0 0 3 66)~~

摘　　要：采用交错隐式算子分裂 (ADI)算法 ,设计、实现了一种高速、高精度的波束传播方法 (BPM)来模拟 SOI波导中不同偏振态的光传输 ,研究了 PML 边界层的选取对虚传播计算基模和基模传播常数的影响 ,给出了大光腔A fast and accurate ADI BPM program is implemented to simulate the optical transimission at different polarizations.Influence of the selection of PML boundary profile on the base mode field distribution and the base mode propagation constant is investigated.The base mode propagation constant at the different polarizations for the SOI structure waveguides is given.

关 键 词：BPM方法 ADI方法 PML边条件 SOI结构 波导 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]