半导体硅材料最新发展现状  

Development and trend of semiconductor Si material

作　　者：蒋荣华 肖顺珍 

机构地区：[1]峨眉半导体材料研究所,四川峨眉山614200

出　　处：《半导体技术》2002年第2期3-6,共4页Semiconductor Technology

摘　　要：概述了现代微电子工业的发展状况及对半导体硅材料的新要求，叙述了近年来国际半导体多晶硅和单晶硅材料的发展状况与趋势。The requirements of semiconductor industry for Si material are discussed in this paper. The development and the state of international semiconductor Si material in the recent years are reviewed.

关 键 词：半导体硅 多晶硅 单晶硅 半导体材料 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]