电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用  

Application of Electron Tunneling Effect on Micromachined Gyroscope

作　　者：李文望[1] 孙道恒[2] 

机构地区：[1]厦门鹭江大学机械系,福建厦门361005 [2]厦门大学机电系,福建厦门361005

出　　处：《泉州师范学院学报》2001年第6期29-32,共4页Journal of Quanzhou Normal University

基　　金：福建省自然科学基金 (A0 110 0 0 3) .

摘　　要：简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理 ,电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度 ,已成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上 .本文提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测 ,并分析了输出为角振动和线振动的结构设计方案及检测方式 .This paper describes the principle of micromachined gyroscope and electron tunneling effect,Electron tunneling effect has very high sensitivity in detecting micro position and was succeed in putting on sensors,including accelero meters,infrared detectors,magnetometers.The application of electron tunneling effect on output detection of micromachined gyroscope is expounded,and the structural scheme and detection mode is analysed.

关 键 词：微机械陀螺 电子隧道效应 结构设计 振动位移 输出检测 角振动 线振动 

分 类 号：V241.533[航空宇航科学与技术—飞行器设计]