微型可编程相位光栅的理论特性研究  

Research on the Theoretical Characteristics of Micro Programmable Phase Grating Technology

作　　者：陈非凡[1] 李云龙[1] 殷玲[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系,北京100084

出　　处：《仪器仪表学报》2002年第1期67-70,86,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然科学基金资助项目69978008;国家教育部高等学校骨干教师首批资助项目

摘　　要：本文提出了一种基于微光机电系统 ( MOEMS)的新型可编程相位光栅技术 ,并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究 ,同时给出部分数值仿真结果 ,并得出了一些重要的结论。A new programmable phase grating technology based on the micro optical electrical mechanical system(MOEMS) is proposed in this paper. The principle and theoretical characteristics of this grating are studied and analyzed. Some Simulation results and some important conclusions are presented.

关 键 词：可编程相位光栅 微光机电系统 光谱技术 

分 类 号：TH741.6[机械工程—光学工程]