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作 者:苏芝玄 金有圣 郑春花[2] 张翼滉 车硕源 SO Jihyun;KIM Yusung;ZHENG Chunhua;CHANG Ikwhang;CHA Suk Won(Seoul National University,Seoul 151742,South Korea;Shenzhen Institutes of Advanced Technology,Chinese Academy of Sciences,Shenzhen 518055,China;Wonkwang University,lksan 54538,South Korea)
机构地区:[1]首尔大学,首尔151742 [2]中国科学院深圳先进技术研究院,深圳518055 [3]圆光大学,益山54538
出 处:《集成技术》2018年第6期2-8,共7页Journal of Integration Technology
基 金:深圳市无人驾驶感知决策与执行技术工程实验室(Y7D004);韩国未来创造科学部国家研究基金创新材料发现计划项目(2017M3D1A1040688);韩国未来创造科学部国家研究基金全球前沿研发计划项目(2012M3A6A7054855)
摘 要:为了控制薄膜固体氧化物燃料电池阳极的小孔尺寸,该研究提出了一种工艺简便的聚合物注入方法。首先,将液体聚苯乙烯以一定的压力注入到多孔氧化镍-氧化钇稳定的氧化锆(NiO-YSZ)基片;然后,经过机械切割,利用溅射法在阳极基片上沉积300 nm厚的电极薄膜;最后,利用热解法将基片孔隙的聚苯乙烯移除,完成多孔阳极基片上的电极薄膜制备。利用该法获取的NiO-YSZ基片具有更好的小孔尺寸可控性,同时可以实现无支撑薄膜的制备,从而显著提高大面积薄膜固体氧化物燃料电池的生产效率。To control the pore size of anode in thin film solid oxide fuel cells,a simple polymer injection method was introduced to replace conventional anode functional layer method in this paper.Firstly,the liquid polystyrene was pressed and injected to the porous nickel oxide yttria-stabilized zirconia (NiO-YSZ)substrate.Then,a 300-nm-thick film was deposited on a composite substrate by sputtering procedure.Finally, by removing polystyrene from the pore of substrate through pyrolysis,a free-standing thin film on the porous substrate could be obtained.The polymer-injected NiO-YSZ substrate has more controlled pores.Moreover, with the proposed method,throughput of large scale thin film solid oxide fuel cell can be improved.
分 类 号:TK91[动力工程及工程热物理]
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