MEMS研究与发展前景  

Research and prospects in the future for MEMS

作　　者：赵晓峰[1] 温殿忠[1] 

机构地区：[1]黑龙江大学 电子工程学院,黑龙江哈尔滨150080

出　　处：《黑龙江大学自然科学学报》2002年第1期64-69,共6页Journal of Natural Science of Heilongjiang University

摘　　要：在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．On the base of the study states between island and the area out of it, the authors illustrate the basic concept significance of MEMS technology, while the emphasis is the process technology and the prospect in the future.

关 键 词：MEMS 微传感器 微执行器 各向异性腐蚀技术 微电子机械加工系统 加工工艺 发展前景 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学] TH16-39[机械工程—机械制造及自动化]