半导体工业真空泵油的处理与再造利用  

作　　者：许蔓秋 汤卫民 

机构地区：[1]杜邦中国集团有限公司北京办事处,北京100004 [2]上海泰特实业有限公司,上海200120

出　　处：《半导体技术》2002年第3期29-30,共2页Semiconductor Technology

摘　　要：介绍了半导体工业真空泵油,在对其性能特点进行比较的基础上,着重对杜邦全氟聚醚油的性能、特点做了介绍,并提出利用方案。

关 键 词：半导体工业 真空泵油 处理 再造利用 全氟聚醚油 硅片加工 PFPE 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TB742[一般工业技术—材料科学与工程]