振动式微机械陀螺的电学模拟  

Electrical analogue of the vibrating micromachined gyroscope

作　　者：黄小振[1] 熊斌[1] 车录锋[1] 王跃林[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室,上海200050

出　　处：《功能材料与器件学报》2002年第1期59-62,共4页Journal of Functional Materials and Devices

基　　金：国家重点基础发展规划项目<集成微光机电系统研究>的资助(No.G1999033101)

摘　　要：根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟。利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性。利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计。An equivalent electrical analogue of vibrating micromachined gyroscope was derived from its dynamics model and simulated using EDA tools. The performance of the gyroscope was analyzed by the circuit-simulating. Using this electrical analogue in the design of interface circiut of gyroscope, the design of the sensing circuit can be optimized.

关 键 词：振动式 微机械陀螺 电学模拟 等效电学模型 

分 类 号：V241.554[航空宇航科学与技术—飞行器设计] TH－39[机械工程]