光伏型锑化铟多元红外探测器  

作　　者：常业清 

机构地区：[1]广西柳州电机总厂设计室

出　　处：《红外与激光技术》1989年第4期5-7,共3页

摘　　要：本文简要介绍用箱法扩散成结,蒸发SiO_2钝化表面和金属化层作欧姆接触,热压焊等类似Si集成电路工艺研制的InSb多元红外探测器的情况,获得了高阻抗、无串扰的线列器件。并就工艺对串扰和均匀性的影响进行讨论。

关 键 词：红外探测器 多元探测器 锑化铟 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]