人造金刚石薄膜的合成及其应用  

作　　者：张津岩 李敬起 

出　　处：《新技术应用》1991年第1期67-69,共3页

关 键 词：合成 半导体薄膜 金刚石薄膜 

分 类 号：TN304.18[电子电信—物理电子学]