ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正  

Data Fitting of Electron Energy Analyzer for Electron Cyclotron Resonance Plasma

作　　者：温晓辉[1] 詹如娟[1] 张锐[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学近代物理系,合肥230026

出　　处：《真空科学与技术》2002年第3期231-233,共3页Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (1983 5 0 3 0 ;19875 0 5 3 )

摘　　要：对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论 。Experimental electron energy distribution function of the electron cyclotron resonance(ECR) plasma,measured with an electron energy analyzer,considerably deviates from Maxwell distribution,especially for low temperature ECR plasma.Possible effects responsible for the deviation were discussed and some appropriate data correction and data fitting techniques were proposed.

关 键 词：ECR 等离子体 实验曲线 修正 电子能量分析器 曲线拟合 电子回旋共振 电子能量分布 测量 

分 类 号：TL612[核科学技术—核技术及应用] TL65