詹如娟

作品数：39被引量：94H指数：6
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CVD金刚石辐射探测器研制及性能测试被引量：7
《物理学报》2010年第3期1620-1624,共5页周海洋 朱晓东 詹如娟 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2008CB717800);国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA84TS18)资助的课题~~
电学性质优异的金刚石膜是理想的辐射探测器材料,用自支撑金刚石膜研制了辐射探测器,进行了探测器的性能测试.探测器采用的是"叉指"状共面型电极结构,探测器的有效探测区面积为3mm×3mm,探测器的连接接口是L16电缆头.探测器暗电流与电...
关键词：CVD金刚石 辐射探测器 
大气压等离子体制备类二氧化硅薄膜的实验研究被引量：8
《真空科学与技术学报》2005年第4期293-296,共4页程诚 方鹏 朱晓东 耿松 詹如娟 
国家自然科学基金(50472010);国家863探索基金;安徽省自然科学基金(03044702)
本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为硅的先驱粒子,氮或氩气为稀释气体,进行了大气压等离子体化学气相沉积类二氧化硅薄膜的实验研究。运用红外光谱(FTIR)、光电子能谱(XPS)和扫描电镜(SEM)对沉积的薄膜进行结构和表面分析。实验表明,当...
关键词：大气压等离子体 薄膜沉积 
CVD金刚石在辐射探测领域中的应用被引量：8
《核技术》2005年第2期135-140,共6页周海洋 朱晓东 詹如娟 
国家 863 高技术研究发展计划探索基金 (2003AA84ts18);安徽省自然科学基金 (03044702);国家自然科学基金 ( 50472010) 资助
随着低气压合成金刚石研究的深入,CVD 金刚石质量及电学品质不断提高,高性能 CVD 金刚石电子器件的研制已成为该领域的热点研究课题之一。由于金刚石辐射探测器具有信噪比高、时间响应快、可以在极端恶劣环境中正常工作等优点,基于 CVD...
关键词：CVD金刚石 探测器 辐射 
大气压辉光放电研究现状及应用前景被引量：11
《物理》2004年第6期430-434,共5页张锐 刘鹏 詹如娟 
大气压辉光放电由于均匀性好、能量效率高并且不需要真空系统 ,正日益受到人们重视和研究 .文章综述了大气压辉光放电的研究进展 ,包括实验条件、放电特征、放电机理以及最新的诊断方法 ,还介绍它在薄膜沉积、材料表面改性。
关键词：大气压辉光放电 均匀性 低温等离子体 能量效率 放电特征 薄膜沉积 材料表面改性 
梳状电极结构对大气压表面放电的影响被引量：1
《真空科学与技术学报》2004年第3期216-218,共3页张锐 汪磊 徐蕾 程诚 詹如娟 
研究了梳状电极结构对大气压表面放电的影响 ,发现频率固定时放电电流随着外加电压的增加而增加 ,而电压固定时在某个频率范围内放电电流有最大值 ;在相同的电压和频率下较宽的电极条宽可以产生较大的放电电流 ,而电极条间距对放电电流...
关键词：表面放电 梳状电极 电极条宽 电极条间距 放电电流 
表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析被引量：12
《光谱学与光谱分析》2003年第3期512-514,共3页黄卫东 詹如娟 
国家自然科学基金重点项目资助 (No. 1 98350 30 )
本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;...
关键词：表面波等离子体沉积 类金刚石膜 结构 XPS 类金刚石 RAMAN光谱 X-射线光电子能谱 
电子回旋共振等离子体用于聚四氟乙烯材料表面改性
《真空科学与技术》2002年第5期372-375,共4页温晓辉 詹如娟 
国家自然科学基金资助项目 (No .1983 5 0 3 0 19875 0 5 3 )
在电子回旋共振 (ECR)等离子体装置中 ,使用Ar气 ,N2 气 ,H2 气和普通空气放电 ,对聚四氟乙烯 (PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能。详细研究了在不同的放电气压 ,微波功率 ,处理时间 ,气体种类的情况下 ,样品表面的接触角的...
关键词：电子回旋共振等离子体 表面改性 聚四氟乙烯 离子密度 离子能量 工程塑料 
ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正
《真空科学与技术》2002年第3期231-233,共3页温晓辉 詹如娟 张锐 
国家自然科学基金资助项目 (1983 5 0 3 0 ;19875 0 5 3 )
对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论 。
关键词：ECR 等离子体 实验曲线 修正 电子能量分析器 曲线拟合 电子回旋共振 电子能量分布 测量 
表面波激发等离子体合成类金刚石薄膜的实验研究被引量：2
《真空科学与技术》2001年第5期391-393,397,共4页黄卫东 詹如娟 吴丛凤 
国家自然科学基金资助项目 (1983 5 0 3 0;19875 0 5 3 )
用表面波等离子体装置进行了类金刚石薄膜的合成实验 ,研究了微波功率、基底负偏压和气体组成等条件对成膜的影响。用拉曼光谱和扫描电子显微镜对薄膜结构和表面形貌进行了分析 ,得出在 10 0Pa的工作气压下 ,使用CH4 放电 。
关键词：表面波 等离子体 类金刚石薄膜 合成 结构 表面形貌 
宽气压范围内裂缝天线等离子体特性研究
《真空科学与技术》2001年第4期319-321,共3页吴丛凤 黄卫东 温晓辉 詹如娟 
国家自然科学基金资助项目 (19835 0 30 19875 0 5 3)
给出了气压为 10～ 2 80 0 0Pa时 ,环形倾斜裂缝天线等离子体源的放电特性。实验表明 ,该源在气压为 10～ 2 6 0 0Pa范围内是大体积表面波放电 ,并且在气压为 10和 2 30Pa时清楚地观察到裂缝天线附近石英管内的等离子体有较明显的 8个瓣...
关键词：裂缝天线 宽气压 微波等离子体 表面波 涡动 
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