耿松

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：中国科学院更多>>
发文主题：大气压二氧化硅薄膜等离子体制备更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金安徽省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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大气压等离子体制备类二氧化硅薄膜的实验研究被引量：8
《真空科学与技术学报》2005年第4期293-296,共4页程诚 方鹏 朱晓东 耿松 詹如娟 
国家自然科学基金(50472010);国家863探索基金;安徽省自然科学基金(03044702)
本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为硅的先驱粒子,氮或氩气为稀释气体,进行了大气压等离子体化学气相沉积类二氧化硅薄膜的实验研究。运用红外光谱(FTIR)、光电子能谱(XPS)和扫描电镜(SEM)对沉积的薄膜进行结构和表面分析。实验表明,当...
关键词：大气压等离子体 薄膜沉积 
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