新的离子型光敏聚酰亚胺  

New Ion-type Photosensitive Polyimdes

作　　者：张春华[1] 杨正华[1] 丁孟贤[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春应用化学研究所高分子物理与化学国家重点实验室,吉林长春130022

出　　处：《功能高分子学报》2002年第2期117-121,共5页Journal of Functional Polymers

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目 (5 0 0 3 3 0 10 )

摘　　要：合成了新的复合光敏聚酰胺酸季铵盐 ,研究了光敏剂、交联剂以及化学结构对感光度的影响 ,并考察了其热稳定性。结果表明以 3,3′ ,4 ,4′ 联苯四酸二酐 -间苯二胺为主链的聚酰胺酸合成的光敏聚酰胺酸季铵盐有较高的感光度 ,光敏剂米氏酮的含量在 3～ 5 % ,交联剂 2 ,6 双 (4 叠氮苄基 ) 4 甲基环己酮的含量在8～ 10 %为宜 ;光敏性叔胺二甲氨基乙醇肉桂叉乙酸酯的含量不可超过 8% ;由这种复合季铵盐合成的新的光敏聚酰胺酸盐在较低的温度 2 0 0℃以下就可以完全酰亚胺化 ,但接近 5 5These quaternary ammonium salts of new ion type photosensitive polyamic acid (PAS) were synthesized. The relationship between sensitivity and sensitizer, chemical structure as well as photocrosslinking agent were investigated. Meanwhile, the thermal imidization of the PAS I was also studied here by means of TGA and FTIR analyses.

关 键 词：离子型光敏聚酰亚胺 复合季铵盐 光敏聚酰胺酸盐 感光度 热稳定性 集成电路 光刻胶 

分 类 号：O633.2[理学—高分子化学] TN305.7[理学—化学]