光学光刻现状及设备市场  

The Status of Optical Lithography and the Market of Lithography Equipment

作　　者：童志义[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第四十五研究所,甘肃平凉744000

出　　处：《电子工业专用设备》2002年第1期2-6,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：概述了当前光学光刻技术现状及今后发展目标 ,并结合设备市场介绍了ASML、Canon、Nikon 3大设备制造商概况。This paper reviews the technology status and the roadmap of optical lithography,the equipment market was also introduced with ASML,Canon,Nikon three major manufacturers.

关 键 词：光学光刻 技术现状 设备市场 制造商 

分 类 号：TN605[电子电信—电路与系统]