微电子技术发展方向及交叉学科  

作　　者：于宗光[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第58所,无锡214035

出　　处：《集成电路应用》2002年第3期6-9,共4页Application of IC

摘　　要：本文综述了今后一段时期内国外微电子技术发展的方向及微电子技术相关的交叉学科。

关 键 词：微电子技术 发展方向 交叉学科 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学]