TGY30型高压单晶炉机械设计与制造  

Machinery design and manufacture of TGY30 high-pressure crystal growing furnace

作　　者：董占美 薛武鹏[2] 

机构地区：[1]西安核设备有限公司,陕西西安710021 [2]西安理工大学,陕西西安710049

出　　处：《石油化工设备》2002年第4期43-45,共3页Petro-Chemical Equipment

摘　　要：对高压带衬里结构单晶炉的密封与结构设计、主要材料选择以及制造、检验作了简要介绍。A brief introduction of the sealing design,structure design,main material selection,manufacture and inspection for high pressure crystal growing furnace with lining structure is made

关 键 词：TGY30型 高压单晶炉 机械设计 制造 半导体 GAAS 密封 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学]