三轴高g压阻式微加速度计的设计  

Design of a Triaxial High-g Piezoresistive Microaccelerometer

作　　者：林杰[1] 林立伟[1] 郭航[1] 

机构地区：[1]厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院,厦门大学物理与机电工程学院,福建厦门361005

出　　处：《厦门大学学报（自然科学版）》2014年第4期496-501,共6页Journal of Xiamen University：Natural Science

基　　金：航空基金(2008ZH68002);教育部新世纪优秀人才支持计划(2007NCET-07-0723)

摘　　要：提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴进行了200 000 g载荷下的性能研究,结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度.This paper presents a method of designing a tri-axial high-g piezo-resistive micro-accelerometer.First,the equivalent mechanics model of the micro-accelerometer is set up,and then the theoretical analysis of stress and frequency are conducted to obtain the structure parameters.Furthermore,FEM in ANSYS is used to determine the positions of piezo-resistors to gain a better output voltage signal.In the end, the performance of the micro-accelerometer is studied under 200 000 g loads in three axis,and results show that the presented micro-accelerometer is associated with high sensitivity and high linearity in the high-g environment.

关 键 词：三轴 高g 压阻 微加速度计 仿真 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]