声表面波气体传感器设计与制作  

Design and fabrication of SAW gas sensor

作　　者：赵以贵[1] 李维龙[1] 张森[1] 

机构地区：[1]华东电子工程研究所,安徽合肥230088

出　　处：《传感器与微系统》2014年第8期80-82,86,共4页Transducer and Microsystem Technologies

摘　　要：阐述了声表面波（SAW）甲基膦酸二甲酯（DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性,主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性,敏感材料巯基十一酸（MUA）采用了分子自组装成膜方式和Cu2＋化学修饰。实验结果显示：在1~100mg/m3的浓度范围内具有好的线性度和21Hz/mg/cm3的灵敏度。Design and fabrication process of surface acoustic wave （SAW） gas sensor for dimethyl-methyl- phosphonate （DMMP） detection is presented . To improve detection sensitivity and selectivity, frequency stability of SAW oscillator is considered carefully, and the 11-mercaptoundecanoic acid （MUA） adopts molecule self- assembled technology and chenically modified by Cu2＋. Experimental result shows good linearity and the superior sensitivity of 21 Hz/mg/cm3 at concentration range of i -100 mg/m3.

关 键 词：声表面波 气体传感器 甲基膦酸二甲酯 巯基十一酸 

分 类 号：O652[理学—分析化学]