张森

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发文主题：甲基膦酸二甲酯气体传感器声表面波气体传感器声表面波更多>>
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声表面波气体传感器设计与制作
《传感器与微系统》2014年第8期80-82,86,共4页赵以贵 李维龙 张森 
阐述了声表面波（SAW）甲基膦酸二甲酯（DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性,主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性,敏感材料巯基十一酸（MUA）采用了分子自组装成膜方式和Cu2＋化学修饰。实验结果显示：在1~100mg...
关键词：声表面波 气体传感器 甲基膦酸二甲酯 巯基十一酸 
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