一种具有时空高分辨率的整体式热流传感器  

作　　者：吴松[1] 舒勇华[1] 李进平[1] 俞鸿儒 

机构地区：[1]中国科学院力学研究所,高温气体动力学国家重点实验室,北京100190

出　　处：《科学通报》2014年第25期2484-2489,共6页Chinese Science Bulletin

摘　　要：为在激波风洞中测量尖锐前缘等曲率半径很小处的表面热流率,俞鸿儒提出一种整体式热流传感器.与传统的热流传感器相比,整体式热流传感器空间分辨率提高了一个数量级,感应元件的最小尺寸仅为直径0.1 mm,可以测量R0.5 mm的球锥驻点热流.通过双组元电子束物理气相沉积的方法,制备康铜薄膜,形成整体式热流传感器的接点层.并利用数值计算,分析了传感器结构对测量精度的影响.激波风洞试验结果表明,本文制备的整体式热流传感器频响约100 kHz,测量重复性误差小于10%.

关 键 词：激波风洞 热流传感器 康铜薄膜 电子束物理 气相沉积 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]