一种苯磺酸酯类光致产酸剂的合成与性能研究  

Synthesis and characterization of one of the benzene sulfonates as photoacid generator

作　　者：王筠[1] 杨欢欢[1] 李全良[1] 谢建平[1] 

机构地区：[1]周口师范学院化学化工学院,河南周口466000

出　　处：《应用化工》2014年第10期1830-1832,共3页Applied Chemical Industry

基　　金：河南省科技厅软科学研究项目(132400411312);周口师范学院实验室开放项目(K201434);周口师范学院化学化工学院大学生科技创新基金资助项目(HYDC201412)

摘　　要：以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料,合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征,研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明,该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可应用于深紫外光致抗蚀剂体系。Phthalimidotosylate was synthesized from phthalic anhydride, hydroxylamine hydrochloride and p-toluenesulfonyl chloride,which was characterized by IR, ^1H NMR and Ultraviolet spectrograph to study its solubility and absorption properties of UV. The results shows that phthalimidotosylate has good solubility, fine transparency,which can be used as photoacid generator in deep UV resist system.

关 键 词：光致产酸剂 合成 光刻技术 

分 类 号：TQ594[化学工程—精细化工] O623[理学—有机化学]