Edwards新型大容量涡轮分子真空泵最大化提升性能  

出　　处：《电子工业专用设备》2014年第2期69-70,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：英国西萨克斯郡克劳雷-Edwards有限公司（Edwards Limited）是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商，该公司日期推出了其STP—iXA4506大容量涡轮分子泵（TMP）。这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本。

关 键 词：涡轮分子泵 大容量 分子真空泵 最大化 增值服务提供商 性能 尾气处理系统 太阳能电池板 

分 类 号：TN929.5[电子电信—通信与信息系统]