利用MOCVD在Si衬底上制备立方相Mg_(0.25)Zn_(0.75)O薄膜及日盲探测器  

Cubic Phased Mg_(0. 25)Zn_(0. 75)O Films Grown on Si by MOCVD and Solar Blind Photodetectors

作　　者：王立昆[1,2] 单崇新[1] 申德振[1] 张振中[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,吉林长春130033 [2]河北科技师范学院

出　　处：《河北科技师范学院学报》2014年第4期36-39,共4页Journal of Hebei Normal University of Science & Technology

基　　金："973"项目Nos.2008CB317105和2006CB604906;中国科学院自然科学知识创新基金项目No.KJCX3.SYW.W01

摘　　要：采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长。在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75O/n-Si异质结型日盲紫外探测器。该探测器在-5 V偏压下,器件暗电流为0.02 m A。在0 V偏压下的峰值响应位于大约280 nm处,响应度为1.2 m A/W。A simple procedure for zero biased solar blind photodetectors was finished based on Mg0.25 Zn0.75 O/ n-Si heterojunetion. The peak responsivity of the detectors was 1.2 mA/W at 280 nm at zero bias. The rejection ratio （R280 m/R400 m） was about one order of magnitude at a reverse bias of 1 V.

关 键 词：立方相Mg0.25Zn0.75O 日盲探测器 金属有机气相沉积 

分 类 号：O472[理学—半导体物理]