一种压阻式高g值加速度计的校准方法  

Detection method of piezoresistive high-g acceleration sensor

作　　者：郑宇[1] 方岚[1] 谢斌[1] 徐栋[1] 展明浩[1] 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,安徽蚌埠233042

出　　处：《功能材料与器件学报》2014年第5期107-111,共5页Journal of Functional Materials and Devices

摘　　要：详细介绍了一种检测自制高g值加速度传感器的技术。利用Hopkinson杆装置进行检测,对检测数据包括电压U与g值进行线性拟合,根据拟合直线来标定自由落体冲击装置的恢复系数k,达到校准整个自由落体冲击装置的目的。Detailedly introduced the technique for detecting the self- made high -g acceleration sensor. Using the ＂line of the best fit＂ between the voltage U and g value which detected by Hopkinson bar. The free falling equipment＇ s recovery coefficient k is figured out through the fitting result.

关 键 词：高g值加速度传感器 HOPKINSON杆 自由落体 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]