徐栋

作品数：4被引量：2H指数：1
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一种压阻式高g值加速度计的校准方法被引量：1
《功能材料与器件学报》2014年第5期107-111,共5页郑宇 方岚 谢斌 徐栋 展明浩 
详细介绍了一种检测自制高g值加速度传感器的技术。利用Hopkinson杆装置进行检测,对检测数据包括电压U与g值进行线性拟合,根据拟合直线来标定自由落体冲击装置的恢复系数k,达到校准整个自由落体冲击装置的目的。
关键词：高g值加速度传感器 HOPKINSON杆 自由落体 
MEMS加速度计微电容检测技术研究
《集成电路通讯》2014年第3期33-36,共4页方岚 郑宇 徐栋 
从MEMS电容式加速度计基本原理入手，介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用，并针对微电容检测时外部信号调节模式不同，归纳并分析了电桥法、电容分压检测法、调制型检测电路和开关电容检测电路等典型实用的微电容检测方法，对设计...
关键词：电容式加速度计 电容检测 差动电容 调制 开关电容 
SOI高线性度压力传感器设计与分析
《集成电路通讯》2013年第4期1-5,共5页汪祖民 郭群英 徐栋 王鹏 何凯旋 熊爱武 
使用SOI硅片材料，采用选择性自停止腐蚀工艺，设计了一种具有高线性度的压力传感器。该压力传感器包括压力敏感膜及其上的四个压敏电阻，压敏电阻通过离子注入扩散布局在压力敏感膜的四边中间位置，通过对压敏电阻的长、宽、结深和在...
关键词：线性度 SOI 压力传感器 U型压敏电阻 
“三明治”MEMS加速度计的设计与分析被引量：1
《集成电路通讯》2013年第2期1-10,共10页王鹏 徐栋 何凯旋 王文婧 陈博 陈璞 黄斌 
基于体硅微机械加工技术，设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构，在有效提高加速度计灵敏度的同时，减小了寄生电容的干扰，提高了加速度计的测量精度，并对悬臂梁的抗冲击性...
关键词：电容加速度计 “三明治”结构 抗冲击 灵敏度 
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