电容加速度计

作品数：19被引量：44H指数：4
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高深宽比梳齿结构刻蚀工艺
《微纳电子技术》2025年第1期137-143,共7页康建波 商庆杰 宋洁晶 
梳齿结构刻蚀是制备电容加速度计芯片的重要工序步骤。在梳齿结构刻蚀过程中,采用快速切换阀代替质量流量控制器(MFC)开关气体解决了梳齿侧壁弯曲问题;将Bosch工艺中物理轰击步骤和化学刻蚀步骤移到沉积步骤之前解决了梳齿顶部损伤问题...
关键词：梳齿结构 电容加速度计 Bosch工艺 选择比 深宽比 侧壁倾角 
基于变电容加速度计的桥梁挠度监测实验平台设计
《实验技术与管理》2023年第7期86-91,共6页黄海辉 陈光贵 左晟楠 杨明 
贵州省教育厅青年科技人才成长项目(黔教合KY字[2022]138号);贵州大学博士基金项目(贵大人基合字[2020]30号);国家自然科学基金项目(62203132,52265066)。
随着各类桥梁的广泛建成与应用,通过挠度测量实现其健康监测具有重要意义。当前结构健康监测系统中常用的挠度监测方法存在测量麻烦、实时性差、高成本、精度低、无法测量动挠度等问题。为避免这些问题,该文研究了基于变电容式加速度计...
关键词：公路桥梁 加速度计 挠度 模型实验 梯形积分方法 
粘接工艺对电容加速度计封装应力的影响被引量：1
《中国电子科学研究院学报》2023年第5期444-449,460,共7页陈卓 李杰 何中伟 罗志恒 金龙 
为了提高电容式加速度计的输出性能,更好地消除粘接工序引起的封装应力,文中对加速度计的可动结构进行了合理的简化,通过有限元分析对加速度计在工况下的应力场和芯片翘曲进行了模拟仿真,系统分析了粘接材料特性、粘接工艺参数以及应力...
关键词：粘接 封装应力 梳齿电容式加速度计 有限元 仿真 
全新MEMS DC响应加速度计3743F系列上市
《设备管理与维修》2023年第4期I0002-I0002,共1页
2023年2月2日,PCB Piezotronics(PCB■)推出新型号3743F,扩展了“F”系列MEMS DC响应传感器,目前已有型号有3711F, 3713F和3741F。PCB公司新品3743F三轴变电容加速度计使用差分输出,实现共模噪声抑制,而且小巧并使用气密钛金属壳体。它...
关键词：共模噪声抑制 金属壳体 差分输出 电容加速度计 MEMS技术 低频振动 宽输入电压范围 加速度 
扭摆式MEMS电容加速度计动态性能分析被引量：1
《微处理机》2021年第4期33-37,共5页齐志华 张志勇 
针对扭摆式MEMS电容加速度计的结构及功能特点,建立系统特征模型,从检测质量、弹性梁、固定端和检测电极等方面详细探讨器件工作原理及动态性能,并通过数学推导得出系统刚度、转动惯量、扭转系数和阻尼系数的解析公式。针对一组特定的...
关键词：MEMS器件 扭摆式加速度计 压膜阻尼 雷诺方程 动态性能 
基于梳齿式电容加速度计的深硅刻蚀被引量：8
《微纳电子技术》2017年第9期633-638,共6页任子明 白冰 王任鑫 张国军 
国家自然科学基金资助项目(61604134);山西省自然科学基金资助项目(2015021114)
梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整。以SF_6和C_4F_8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化...
关键词：深硅刻蚀 梳齿结构 刻蚀速率 垂直度 选择比 均匀性 
全差分三轴MEMS电容加速度计的设计被引量：1
《仪表技术与传感器》2017年第3期25-29,共5页张程浩 狄杰建 刘昊 陈若愚 谭培培 
国家自然科学基金资助项目(51305005)
采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速度激励对器件的不同位移作用,详细分析了三轴方向上加速度激励的交叉耦合影响。最后结合仿真结果得出:该...
关键词：全差分测量 三轴微加速度计 加速度耦合影响 
一种具有应力隔离结构的扭摆式电容加速度计被引量：3
《压电与声光》2016年第6期847-850,共4页李源 陈李 田颖 赵斌 王亚运 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放课题基金资助项目(KF130006);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20120191120022)
基于硅-玻璃键合工艺的扭摆式加速度计,其信号输出对扭转梁上的应力极敏感,而微加工过程中由于硅、玻璃两种材料热膨胀系数不匹配,会在扭转梁上引入较大的热应力,进而引起加速度计温度漂移。为此,提出一种具有应力隔离结构的扭摆式电容...
关键词：微机电系统 加速度计 温漂 隔离应力 ICP刻蚀 
基于单一敏感质量的三轴电容加速度计的设计被引量：6
《振动．测试与诊断》2015年第5期932-937,994,共6页陈立国 袁飞 陈涛 孙立宁 
国家高技术研究发展计划("八六三"计划)资助项目(2011AA040404);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20133201110009);新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-13-0923)
设计了一种单一敏感质量的三轴电容加速度计。该器件采用全差分电容的检测方法,满足了灵敏度的设计要求并解决了三轴的交叉耦合问题,其独特的单一敏感质量结构减小了器件的整体尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工艺实现了18μm的厚度...
关键词：单一敏感质量 三轴加速度计 微机电系统 全差分电容检测 
基于MEMS电容加速度计的声矢量传感器小型化设计被引量：1
《中国惯性技术学报》2015年第2期270-274,共5页周宏坤 洪连进 
长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT1228)
针对传统压电型声矢量传感器无法兼顾小体积与高灵敏度的问题,利用MEMS电容加速度计作为拾振器,实现矢量传感器的小型化设计。首先采用机电类比分析的方法得到内置加速度计的刚硬球体的声致振动响应;然后进行硅微电容加速度计选型和参...
关键词：MEMS电容加速度计 声矢量传感器 小型化设计 机电类比 
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