任子明

作品数：5被引量：15H指数：3
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：海洋湍流MEMS硅传感器结构湍流更多>>
发文领域：理学交通运输工程一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《压电与声光》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金国防科技重点实验室基金山西省回国留学人员科研经费资助项目更多>>
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基于MEMS的压阻式一体化矢量水听器被引量：3
《微纳电子技术》2021年第8期693-699,737,共8页齐秉楠 苗晋威 史一明 任子明 王任鑫 
国家自然科学基金资助项目(51875535);国防科技重点实验室基金资助项目(6142109KF201804)。
随着水下探测技术的发展,为满足水听器更精准的定位和更远距离的探测要求,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式一体化矢量水听器。设计了一套能够将硅纤毛与二氧化硅悬臂梁相集成的工艺方案,以期解决长期以来由于纤毛二次集成...
关键词：矢量水听器 微电子机械系统(MEMS) 一体化 有限元仿真 欧姆接触 
集成硅纤毛的MEMS矢量水听器的压阻特性
《微纳电子技术》2021年第5期403-409,420,共8页齐秉楠 王任鑫 史一明 苗晋威 任子明 
国家自然科学基金资助项目(51875535);国防科技重点实验室基金资助项目(6142109KF201804)。
水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能。针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏单元,设计了一种新型基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式矢量...
关键词：压阻式矢量水听器 微电子机械系统(MEMS) 硅纳米膜 硅纤毛 灵敏度 
基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备
《压电与声光》2018年第6期942-946,共5页任子明 汤跃 赵菲 王任鑫 张国军 孟国栋 
国家自然科学基金资助项目(NSFC 61604134);博士后特别资助项目(2017T100171);中北大学青年学术带头人资助项目;强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项经费资助项目(SKLIPR.1512)
热声传感器随着多孔硅的热致超声发射现象的发现越来越受到关注。热声传感器通过改变器件表面热量而在周围空气中产生交变压力,从而向外发出声波。热声传感器的关键器件是悬空金属薄膜。制备大面积悬空薄膜释放有一定的难度,需要考虑金...
关键词：热声传感器 薄膜制备 各向同性 大面积 悬空Al膜 
应用于芯片原子钟的微碱金属气室制备与研究被引量：4
《激光与光电子学进展》2018年第4期29-35,共7页汤跃 任子明 李云超 胡旭文 张彦军 闫树斌 
科技部国家重点研发计划(2017YFB0503200);山西省自然科学基金(201601D011008;201701D121065);山西省"1331工程"重点学科建设计划;山西省高等学校131领军人才;山西省高等学校中青年拔尖创新人才;山西省留学回国人员科技活动择优资助项目
利用感应耦合等离子体深硅刻蚀机与阳极键合机,制备出了应用于芯片原子钟的碱金属气室。以AZ4620光刻胶为硅片掩模,研究了深硅刻蚀后硅表面的形貌特征,对比了不同结构下深硅刻蚀速率。经过阳极键合,获得了三明治结构的微碱金属气室,并...
关键词：原子与分子物理学 芯片原子钟 碱金属气室 饱和吸收 感应耦合等离子体 阳极键合 
基于梳齿式电容加速度计的深硅刻蚀被引量：8
《微纳电子技术》2017年第9期633-638,共6页任子明 白冰 王任鑫 张国军 
国家自然科学基金资助项目(61604134);山西省自然科学基金资助项目(2015021114)
梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整。以SF_6和C_4F_8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化...
关键词：深硅刻蚀 梳齿结构 刻蚀速率 垂直度 选择比 均匀性 
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