张程浩

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：北方工业大学更多>>
发文主题：基频MEMS加速度计MEMS铌加速度更多>>
发文领域：机械工程化学工程理学更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
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压电微悬臂梁的制作及其基频的研究被引量：2
《仪表技术与传感器》2017年第6期22-25,共4页张程浩 陈若愚 董世杰 
国家自然科学基金资助项目(51305005)
制作了PNZT薄膜驱动的压电微悬臂梁,将压电微悬臂梁的模型简化为压电层-结构层双层微悬臂梁模型,并使用理论计算和有限元仿真软件分析了双层微悬臂梁模型的基频,最后用激光多普勒测振仪对微悬臂梁结构进行了测试。结果表明,仿真、理论...
关键词：压电微悬臂梁 基频 激光多普勒测试 
全差分三轴MEMS电容加速度计的设计被引量：1
《仪表技术与传感器》2017年第3期25-29,共5页张程浩 狄杰建 刘昊 陈若愚 谭培培 
国家自然科学基金资助项目(51305005)
采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速度激励对器件的不同位移作用,详细分析了三轴方向上加速度激励的交叉耦合影响。最后结合仿真结果得出:该...
关键词：全差分测量 三轴微加速度计 加速度耦合影响 
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