董世杰

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：北方工业大学更多>>
发文主题：基频MEMSLANIO3BIFEO3压电式更多>>
发文领域：化学工程理学机械工程更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》更多>>
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压电微悬臂梁的制作及其基频的研究被引量：2
《仪表技术与传感器》2017年第6期22-25,共4页张程浩 陈若愚 董世杰 
国家自然科学基金资助项目(51305005)
制作了PNZT薄膜驱动的压电微悬臂梁,将压电微悬臂梁的模型简化为压电层-结构层双层微悬臂梁模型,并使用理论计算和有限元仿真软件分析了双层微悬臂梁模型的基频,最后用激光多普勒测振仪对微悬臂梁结构进行了测试。结果表明,仿真、理论...
关键词：压电微悬臂梁 基频 激光多普勒测试 
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