周宏坤

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：哈尔滨工程大学水声工程学院水声技术国家级重点实验室更多>>
发文主题：MEMS机电类比小型化设计电容加速度计声矢量传感器更多>>
发文领域：理学交通运输工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《中国惯性技术学报》更多>>
所获基金：长江学者和创新团队发展计划更多>>
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基于MEMS电容加速度计的声矢量传感器小型化设计被引量：1
《中国惯性技术学报》2015年第2期270-274,共5页周宏坤 洪连进 
长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT1228)
针对传统压电型声矢量传感器无法兼顾小体积与高灵敏度的问题,利用MEMS电容加速度计作为拾振器,实现矢量传感器的小型化设计。首先采用机电类比分析的方法得到内置加速度计的刚硬球体的声致振动响应;然后进行硅微电容加速度计选型和参...
关键词：MEMS电容加速度计 声矢量传感器 小型化设计 机电类比 
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