MEMS加速度计微电容检测技术研究  

作　　者：方岚[1] 郑宇[1] 徐栋[1] 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2014年第3期33-36,共4页

摘　　要：从MEMS电容式加速度计基本原理入手，介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用，并针对微电容检测时外部信号调节模式不同，归纳并分析了电桥法、电容分压检测法、调制型检测电路和开关电容检测电路等典型实用的微电容检测方法，对设计高灵敏度的电容检测电路提供了理论依据。

关 键 词：电容式加速度计 电容检测 差动电容 调制 开关电容 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]