中国成功研制国产6英寸碳化硅晶片年产7万片  

出　　处：《新材料产业》2015年第2期78-78,共1页Advanced Materials Industry

摘　　要：不久前，中国科学院物理研究所研究员陈小龙研究组与北京天科合达蓝光半导体有限公司（以下简称“天科合达”）合作，解决了6英寸扩径技术和晶片加工技术，成功研制出了6英寸碳化硅单晶衬底。

关 键 词：中国科学院物理研究所 碳化硅单晶 硅晶片 国产 加工技术 光半导体 研究员 衬底 

分 类 号：TN304.24[电子电信—物理电子学]