激光干涉仪在万能工具显微镜检定中的应用及不确定度分析  

作　　者：闫峰[1] 

机构地区：[1]中航工业沈阳发动机设计研究所

出　　处：《中国计量》2015年第2期91-93,共3页China Metrology

摘　　要：一、前言 万能工具显微镜示值误差检定是以标准线纹尺进行比较,该方法对环境温度要求较高,JJG56-2000《工具显微镜检定规程》规定,检定万能工具显微镜时,仪器室内温度应为（20±1）℃,每小时温度变化不超过0.5℃,标准线纹尺在室内平衡温度时间应不少于4h,被检仪器和标准器具的温度差不超过0.5℃。

关 键 词：万能工具显微镜 激光干涉仪 被检仪器 仪器室 不确定度 温度变化 检定规程 示值误差 偏振分光镜 相位检测器 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程] TH744.3[机械工程—仪器科学与技术]