微光刻领域的标准化及学术交流  

出　　处：《微纳电子技术》2015年第2期136-136,共1页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会是在中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会领导下,在全国半导体设备和材料技术领域从事微光刻标准化工作的组织。全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203,National Standardization Technical Committee for Semiconductor Equipment and Materials）秘书处设在中国电子技术标准化研究院，微光刻分技术委员会（Points Technical Committee for Microlithography）秘书处设在中国科学院微电子研究所，国际上对口标准化技术组织为国际半导体设备与材料协会（Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI）。

关 键 词：半导体设备 技术委员会 标准化工作 学术交流 光刻技术 技术组织 标准制定工作 行业标准 技术标准化 微纳米 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]