Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_(2.97)Mg_(0.03)O_(12)薄膜的铁电性能研究  

作　　者：胡增顺[1] 

机构地区：[1]开封大学公共计算机教研部,河南开封475004

出　　处：《开封大学学报》2014年第4期89-92,共4页Journal of Kaifeng University

基　　金：2011年河南省教育厅自然科学研究计划项目(2011C430002)

摘　　要：在退火温度为600℃、650℃、700℃和750℃的条件下,采用化学溶液沉积法(CSD),在Pt/Ti/Si O2/Si(100)基底上制备了4批Bi3.15Nd0.85Ti2.97Mg0.03O12(BNTM)铁电薄膜.同时,研究了退火温度对薄膜结晶性能、表面形貌以及铁电性能(剩余极化和漏电流)的影响.结果表明,经650℃退火处理的BNTM铁电薄膜具有较好的铁电性能,其剩余极化强度(2Pr)和矫顽场(2Ec)分别为37.8μC/cm2和182.2k V/cm,漏电流密度达到1.61E-7 A/cm2.

关 键 词：BNTM 铁电薄膜 铁电性能 化学溶液沉积 

分 类 号：TB34[一般工业技术—材料科学与工程]