接触式干涉仪改造的探讨  

Discussion on the Reconstruction of Contact Type Interferometer

作　　者：郑骅斌 

机构地区：[1]厦门厦工机械股份有限公司质量管理部,福建厦门361023

出　　处：《计量与测试技术》2015年第3期19-21,共3页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：本文实践和理论相结合,利用电感式传感器对接触式干涉仪进行改装,数据由微机处理,提高精度及工作效率,并进行测量不确定度评定。

关 键 词：干涉仪 量块比较仪 量块 误差 不确定度 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]