硅微陀螺仪的正交误差控制分析  

作　　者：郑怡文[1] 白云晖 彭超[3] 

机构地区：[1]浙江艺术职业学院影视技术系,浙江省杭州市310053 [2]浙江艺术职业学院基础教学部,浙江省杭州市310053 [3]浙江工业大学机械工程学院,浙江省杭州市310014

出　　处：《电子技术与软件工程》2015年第7期143-144,共2页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

基　　金：浙江省教育厅项目Y201328493

摘　　要：本文对影响硅微陀螺仪的正交误差的主要因素进行了全面分析,并论述了如何减小由加工带来的正交误差。

关 键 词：硅微陀螺仪 正交误差控制 精度 

分 类 号：TH89[机械工程—仪器科学与技术]