椭偏法测量薄膜参数时消光位置的确定  

作　　者：杨昌虎[1] 

机构地区：[1]长沙理工大学物理与电子科学学院

出　　处：《中国科技信息》2015年第7期29-31,共3页China Science and Technology Information

基　　金：长沙理工大学教改项目的资助(项目编号:JG1323);湖南省重点学科建设项目资助;湖南省高校科技创新团队支持计划资助;长沙理工大学近地空间电磁环境监测与建模湖南省普通高校重点实验室开放基金资助项目

摘　　要：通过对椭偏法测量薄膜参数的理论和实验分析,对如何快速地确定消光位置进行了研究,得出在测量椭偏参数时有两组独立的特定值,并且两组消光位置的起偏器方位角相差90°。据此,总结出快速、准确找出消光位置的方法。利用该方法对五个不同薄膜样品的厚度和折射率进行了测量,得到的结果与理论分析有很好的一致性。

关 键 词：薄膜参数 椭偏法 位置 消光 测量 实验分析 椭偏参数 薄膜样品 

分 类 号：O436.3[机械工程—光学工程] O484.41[理学—光学]