发明与专利  

出　　处：《传感器世界》2015年第3期50-51,共2页Sensor World

摘　　要：一种基于有机薄膜晶体管一氧化碳气体传感器的制备方法 【摘要】本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管一氧化碳气体传感器的制备方法，先对衬底进行彻底的清洗，清洗后干燥；在衬底的表面制备栅电极，形成栅电极的图形；在镀有栅电极的基板的上制备介电层；对形成的介电层进行氧等离子轰击；在已形成栅电极，以及己覆盖经氧等离子轰击的介电层的基板上制备有机半导体膜；然后制备源电极和漏电极，形成源电极，漏电极图案。

关 键 词：发明 有机薄膜晶体管 制备方法 气体传感器 一氧化碳 专利 栅电极 离子轰击 

分 类 号：TP212-18[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]