七星电子12英寸立式氧化炉实现产业化  

出　　处：《半导体技术》2015年第5期347-347,共1页Semiconductor Technology

摘　　要：北京七星华创电子股份有限公司（简称＂七星电子＂）与上海华力微电子有限公司签订2台12英寸（1英寸=2.54 cm）立式氧化炉供销合同,用于其55 nm集成电路生产线。这标志着七星电子的氧化炉产品继在中芯国际验证成功后,又一次在国内高端集成电路生产领域取得突破,开始走向商用化。近年来,七星电子承担了12英寸立式氧化炉的研制任务。

关 键 词：氧化炉 供销合同 研制任务 商用化 中芯国际 力微 设备技术水平 工艺验证 产品系列化 自主知识产权 

分 类 号：TN41[电子电信—微电子学与固体电子学]