次世代微影术及其非破坏式光学量测系统之研究  

作　　者：李彦旻 李佳翰[1] 

机构地区：[1]台湾大学

出　　处：《金属加工（冷加工）》2015年第10期81-81,共1页MW Metal Cutting

摘　　要：本论文包含三项研究：一、极紫外光（extreme ultraviolet）微影系统：1.设计以40层钼/硅为基材之光子晶体（photoniccrystal）反射面镜,从数值计算得知,此面镜大幅提升对极紫外光之反射率,并能承受更高之照射温度与能量。2.改善传输线理论（transmission line theory）,使之用于加速多层钼/硅面镜之设计。

关 键 词：量测系统 rigorous ULTRAVIOLET 光子晶体 次世代 extreme 传输线理论 ZERNIKE 数值计算 数值孔径 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]