精密孔径测量仪计量检定方法研究  

Verification Method on Precision Aperture Measuring Instrument

作　　者：唐翠荣[1] 左勇[1] 徐晓波[1] 刘军[1] 束小梅[1] 

机构地区：[1]中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所,国防科技工业第一计量测试研究中心,北京100095

出　　处：《机械工程师》2015年第6期159-162,共4页Mechanical Engineer

基　　金：;航空科技成果项目(1991航技签字262号)

摘　　要：精密孔径测量仪是一台以长光栅为标准，利用光电瞄准技术进行非接触绝对测量的高精度测长仪器；主要用于测量内孔直径，还可以用于测量轴径、两平行平面距离及玻璃尺刻线间距等。文中主要研究测量范围为（0～200） mm，分辨力为0.1μm的精密孔径测量仪的检定方法。Owing to taking optical long grating as a standard and using photoelectrical aligning , the precision aperture measuring instrument （PAMI） is a high precision non-contact absolute-length measuring instrument. This verification method is suitable for the verification of the precision aperture measuring instrumen （PAMI） with （0~200） mm of measuring range and 0.1μm of resolution. The method prescribes the metrological characteristics , verification items , verification methods, verification procedure and processing of verifying results for PAMI.

关 键 词：精密孔径测量仪 长光栅 光电瞄准 非接触 绝对测量 

分 类 号：TG88[金属学及工艺—公差测量技术]