长光栅

作品数：40被引量：15H指数：2
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相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
相关作者：欧屹陈骥林玉池石照耀顾庆祥更多>>
相关机构：中国科学院重庆大学广东工业大学北京工业大学更多>>
相关期刊：《军民两用技术与产品》《测试技术学报》《辽宁石油化工大学学报》《光学仪器》更多>>
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基于ABAQUS的计量长光栅精密光刻复制机研究
《智能建筑与工程机械》2020年第2期63-67,共5页孙栋 张萍 杨旭东 尹宏 
贵州省科技计划项目《施肥机械智能控制模块与电机技术研究》黔科合支撑[2019]2024号。
由于光刻复制属于精密加工,故在工作状态下其对光栅尺摆放平台的平整度具有较高要求。在自重和压紧力作用下,结构会发生自变形,从而影响加工精度。本文以某公司生产的某型号长光栅精密光刻复制机为研究对象,采用数值模拟方法将SolidWor...
关键词：长光栅光刻复制机 ABAQUS软件 静力分析 模态分析 
长光栅光刻车间气流组织数值模拟研究
《智能建筑与工程机械》2020年第1期52-54,58,共4页孙栋 张萍 杨旭东 尹宏 
贵州省科技计划项目《施肥机械智能控制模块与电机技术研究》黔科合支撑[2019]2024号。
长光栅的光刻制造工艺是一个复杂的精密制造过程,良好的环境条件有利于提高产品质量,本文通过CFD方法模拟分析某规格长光栅光刻车间内由空调通风所形成的空气速度场及温度场,确定满足制造工艺要求的空调参数,同时研究送风温度及送风速...
关键词：光刻 CFD 速度场 温度场 
汽车球笼类传动零件测量仪器的研制
《工具技术》2019年第7期90-95,共6页姜驿阳 叶勇 付瑛 石照耀 
针对人工测量球笼效率低、难度大、精度不足等缺点,研制了一台中心高及偏心测量仪。该仪器采用立式结构,主要由机械系统、测控系统和计算机系统三部分组成。介绍了仪器的测量原理和工作原理,运用长光栅测量方法设计了测量导轨组件、测...
关键词：球笼 中心高 偏心 长光栅 
气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响被引量：3
《润滑与密封》2016年第3期101-106,共6页莫德云 马平 弓满锋 
国家自然科学基金项目(50775043);广东省自然科学基金项目(S2013010013385);岭南师范学院校级青年基金项目(QL1403)
为满足长光栅刻制气浮平台的设计要求,通过建立气浮导轨上气膜面的有限元模型,以承载能力、耗气量及流场"死区"速度作为性能指标,分析不同的节流器和均压槽形式对气浮导轨气膜特性的影响。结果表明:不同的导轨结构会造成压力场特性发生...
关键词：气浮平台 承载力 速度死区 耗气量 
精密孔径测量仪计量检定方法研究被引量：2
《机械工程师》2015年第6期159-162,共4页唐翠荣 左勇 徐晓波 刘军 束小梅 
;航空科技成果项目(1991航技签字262号)
精密孔径测量仪是一台以长光栅为标准，利用光电瞄准技术进行非接触绝对测量的高精度测长仪器；主要用于测量内孔直径，还可以用于测量轴径、两平行平面距离及玻璃尺刻线间距等。文中主要研究测量范围为（0～200） mm，分辨力为0.1μm...
关键词：精密孔径测量仪 长光栅 光电瞄准 非接触 绝对测量 
中科院光电所研制出3米长光栅复制光刻机
《机电工程技术》2009年第7期8-8,共1页
近日，一种新型“3米长光栅复制光刻机”在中科院光电技术所研制成功。这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后创新研发的一项新型精密光刻设备。该机在母尺和工件间抽真空，采用蝇眼透镜的i线均匀照明系统，结合气浮工件台一维...
关键词：光电技术 光刻机 长光栅 中科院 复制 照明均匀性 照明系统 光刻设备 
新型3米长光栅复制光刻机研制成功
《军民两用技术与产品》2009年第7期30-30,共1页
中国科学院光电技术所研制成功一种新型3米长光栅复制光刻机．这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后．创新研发的义一款新型精密光刻设备。
关键词：光刻机 长光栅 复制 中国科学院 光刻设备 光电技术 曝光机 研发 
长光栅误差的神经网络建模分析被引量：4
《机械与电子》2004年第6期59-61,共3页李鸣鸣 龚振邦 
国家 八六三"计划项目(2 0 0 2AA40 44 5 0)
在不需要任何先验知识的情况下,无论误差分布形式如何,直接利用实验数据对光栅测量系统建立径向基函数(RBF)神经网络模型。
关键词：长光栅 误差模型 补偿 径向基函数神经网络 
加入温度误差项的动态测量误差修正灰色模型
《工具技术》2002年第7期48-49,共2页杨志敏 江秀娥 
国家自然科学基金资助项目 (项目编号 :5 95 75 0 81)
动态测量中的温度变化会使测量结果产生温度误差。采用插入高精度标准信号的误差实时分离方法无法将温度误差从测量信号中分离出来 ,因此必须在动态测量误差修正灰色模型中加入测量仪器的温度误差项 。
关键词：温度误差 动态测量 误差修正 灰色模型 长光栅 
滚珠丝杠导程误差动态测试的分频比相法
《计量技术》2001年第3期11-13,共3页张洪才 
介绍了以长、圆光栅副为检测元件 ,步进电机为驱动部件 ,80 98单片机为核心的滚珠丝杠导程误差的检测系统。误差计算采用分频比相法 ,分频、比相、误差计算在单片机内直接完成 ,不需把测量信息传递到上位机或其它设备 ,就能获得误差数...
关键词：滚珠丝杠 导程误差 动态测试 圆光栅 分频比相法 精密工作台 长光栅 
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