力学所建成高能冲击磁控溅射装备系统并开放服务  

作　　者：高方圆[1] 

机构地区：[1]先进制造工艺力学重点实验室,中国科学院力学研究所

出　　处：《力学与实践》2015年第1期112-112,共1页Mechanics in Engineering

摘　　要：表面工程提高材料摩擦磨损、耐腐蚀性能的同时,还赋予材料新的表面功能,为解决人类发展中遇到的资源、能源等问题起到了不可替代的重要作用.作为表面工程领域的重要分支,我国亟需提升物理气相沉积（PVD）的技术能力.

关 键 词：力学所 表面工程 表面功能 先进制造工艺 磁控溅射 材料摩擦 开放服务 耐腐蚀性 装备研制 中国科学院 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]