一种新型表面涂层及其应用  

作　　者：周峻霖[1] 尤广为[1] 凌尧[1] 卢剑寒[1] 姚道俊[1] 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2015年第2期36-40,共5页

摘　　要：Parylene是一种性能优异的高聚合物材料，可沉积到金属、玻璃、树脂、塑料、陶瓷等各种形状材料的表面。针对表面工程技术发展趋势，阐述了Parylene涂层性能、沉积工艺及应用领域，并综合比较其与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层性能的异同，事实证明Parylene可用于HIC电路表面涂层，保证电路表面可靠性。

关 键 词：PARYLENE 气相沉积 涂层 HIC电路 

分 类 号：TQ153.2[化学工程—电化学工业]